[发明专利]一种多针阵列式伪MOS结构测量探头有效
| 申请号： | 202110472854.X | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113267714B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 万景;王海华;徐壮壮 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于测试技术领域，具体为一种多针阵列式伪MOS结构测量探头。本发明测量探头由外围多根探针围绕中央一根探针呈环形均匀排布组成，中央一根探针接出一根引线作为源极（或漏极）传导，外围多根探针短路连接共同接出一根引线作为漏极（或源极）传导，中央一根探针与外围多根探针的间距相同，为0.2‑5mm；外围探针数量根据测试需要灵活设置。本发明提出的测量探头可有效屏蔽测量过程中的本征漏电点，且屏蔽效果随着外围多针数目的增加而增强。该测量探头可普遍应用于绝缘层上硅（SOI）、绝缘层上锗（GeOI）、氧化层上多晶硅等结构的测量和表征。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 mos 结构 测量 探头 | ||
【主权项】：
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