[发明专利]一种基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明涉及基板处理技术领域，更具体的说是一种基板处理装置及基板处理方法，所述该方法包括以下步骤：步骤一：完成对基板的切割后，分离转板向下移动后转动，使得所有的小块基板沿着脱离转板滑落；步骤二：所有的小块基板落在震动滤孔板上，经过震动除去切割产生的灰尘；步骤三：分离转板复位带动阻挡板移动，使得所有的小块基板能够继续移动被收集起来；步骤四；去边框架进行往返移动将切割后的边角移出，并且将待加工的大块基板带入工位进行新一轮加工，本装置能在基板裁切完成后直接将切好的基板和边角料分离，将边角料移出加工台，方便进行连续加工，还能免去工人一块一块捡出小块的基板，节省人力物力提高加工效率。