[发明专利]一种基板处理装置及基板处理方法在审

专利信息
申请号: 202110454535.6 申请日: 2021-04-26
公开(公告)号: CN113178406A 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 孙晶 申请(专利权)人: 孙晶
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京君恒知识产权代理有限公司 11466 代理人: 王恒
地址: 010020 内蒙古自治*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 处理 装置 方法
【说明书】:

发明涉及基板处理技术领域,更具体的说是一种基板处理装置及基板处理方法,所述该方法包括以下步骤:步骤一:完成对基板的切割后,分离转板向下移动后转动,使得所有的小块基板沿着脱离转板滑落;步骤二:所有的小块基板落在震动滤孔板上,经过震动除去切割产生的灰尘;步骤三:分离转板复位带动阻挡板移动,使得所有的小块基板能够继续移动被收集起来;步骤四;去边框架进行往返移动将切割后的边角移出,并且将待加工的大块基板带入工位进行新一轮加工,本装置能在基板裁切完成后直接将切好的基板和边角料分离,将边角料移出加工台,方便进行连续加工,还能免去工人一块一块捡出小块的基板,节省人力物力提高加工效率。

技术领域

本发明涉及基板处理技术领域,更具体的说是一种基板处理装置及基板处理方法。

背景技术

例如公开号CN1856392B包括:一对相向设置的划线形成装置;一对划线设备,用于支撑该对划线形成装置,使得该对划线形成装置的其中一个在一基板的第一表面上沿x轴方向移动,而该对划线形成装置中的另一个在该基板的第二表面上沿x轴方向移动;一划线设备导引体,用于支持该对划线设备,使得该对划线设备沿Y轴方向移动;一基板支撑装置,用于在X-Y平面内支撑该基板,使得该对划线形成装置刻划该基板的第一表面和该基板的第二表面;该发明的缺点是不能在基板切割后自动去掉边角料。

发明内容

本发明的目的是提供一种基板处理装置及基板处理方法,能在基板切割后自动去掉边角料。

本发明的目的通过以下技术方案来实现:

一种基板处理装置,包括脱离机构和去边机构,所述脱离机构包括脱离转板、脱离转杆、脱离滑杆、脱离连接杆、脱离转杆Ⅱ和脱离带轮轴,脱离转杆的上端转动连接在脱离转板的下端,脱离转杆的下端转动连接在脱离滑杆的左端,脱离连接杆滑动连接在脱离滑杆的右端,脱离连接杆和脱离滑杆通过弹簧连接,脱离转杆Ⅱ的左端转动连接在脱离连接杆的右端,脱离转杆Ⅱ的右端固定连接在脱离带轮轴上,去边机构包括去边框架。

作为本技术方案的进一步优化,本发明基板处理装置,所述去边机构还包括去边电机、去边转杆和去边转杆Ⅱ,去边转杆固定连接在去边电机的输出轴上,去边转杆Ⅱ的右端转动连接在去边转杆的右端,去边转杆Ⅱ的左端转动连接在去边框架的右端。

作为本技术方案的进一步优化,本发明基板处理装置,所述一种基板处理装置还包括平台机构,平台机构包括平台支架、平台侧挡杆、平台斜板和平台传送带,两个平台侧挡杆均固定连接在平台支架上,平台斜板的右端设有一个缺口,平台斜板固定连接在平台支架的下端,平台传送带固定连接在平台支架上,脱离转杆Ⅱ转动连接在平台支架的下端,去边电机固定连接在平台支架的下端,去边转杆转动连接在平台支架上,去边框架滑动连接在两个平台侧挡杆之间。

作为本技术方案的进一步优化,本发明基板处理装置,所述一种基板处理装置还包括支撑机构,支撑机构包括支撑连接板、支撑液压杆、支撑支架、除尘电机、除尘风扇和除尘防护罩,支撑连接板固定连接在支撑液压杆的上端,支撑液压杆的下端固定连接在支撑支架上,除尘电机固定连接在支撑支架上,除尘风扇固定连接在除尘电机的输出轴上,除尘防护罩固定连接在支撑支架上,脱离转板转动连接在支撑连接板上,脱离滑杆滑动连接在支撑连接板上,脱离连接杆滑动连接在支撑连接板上,平台支架固定连接在支撑支架上。

作为本技术方案的进一步优化,本发明基板处理装置,所述一种基板处理装置还包括震动机构,震动机构包括震动滤孔板、震动滑板、震动转杆和震动电机,多个震动滑板均固定连接在震动滤孔板上,多个震动滑板上均设有滑槽,多个震动转杆分别滑动连接在多个震动滑板上,左端的两个震动转杆分别固定连接在两个震动电机的输出轴上,前后两端的两个震动转杆分别通过皮带传动。

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