[发明专利]一种基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括脱离机构(1)和去边机构(2)，其特征在于：所述脱离机构(1)包括脱离转板(101)、脱离转杆(102)、脱离滑杆(103)、脱离连接杆(104)、脱离转杆Ⅱ(105)和脱离带轮轴(106)，脱离转杆(102)的上端转动连接在脱离转板(101)的下端，脱离转杆(102)的下端转动连接在脱离滑杆(103)的左端，脱离连接杆(104)滑动连接在脱离滑杆(103)的右端，脱离连接杆(104)和脱离滑杆(103)通过弹簧连接，脱离转杆Ⅱ(105)的左端转动连接在脱离连接杆(104)的右端，脱离转杆Ⅱ(105)的右端固定连接在脱离带轮轴(106)上，去边机构(2)包括去边框架(204)。

2.根据权利要求1所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述去边机构(2)还包括去边电机(201)、去边转杆(202)和去边转杆Ⅱ(203)，去边转杆(202)固定连接在去边电机(201)的输出轴上，去边转杆Ⅱ(203)的右端转动连接在去边转杆(202)的右端，去边转杆Ⅱ(203)的左端转动连接在去边框架(204)的右端。

3.根据权利要求2所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述一种基板处理装置还包括平台机构(3)，平台机构(3)包括平台支架(301)、平台侧挡杆(302)、平台斜板(303)和平台传送带(304)，两个平台侧挡杆(302)均固定连接在平台支架(301)上，平台斜板(303)的右端设有一个缺口，平台斜板(303)固定连接在平台支架(301)的下端，平台传送带(304)固定连接在平台支架(301)上，脱离转杆Ⅱ(105)转动连接在平台支架(301)的下端，去边电机(201)固定连接在平台支架(301)的下端，去边转杆(202)转动连接在平台支架(301)上，去边框架(204)滑动连接在两个平台侧挡杆(302)之间。

4.根据权利要求3所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述一种基板处理装置还包括支撑机构(4)，支撑机构(4)包括支撑连接板(401)、支撑液压杆(402)、支撑支架(403)、除尘电机(404)、除尘风扇(405)和除尘防护罩(406)，支撑连接板(401)固定连接在支撑液压杆(402)的上端，支撑液压杆(402)的下端固定连接在支撑支架(403)上，除尘电机(404)固定连接在支撑支架(403)上，除尘风扇(405)固定连接在除尘电机(404)的输出轴上，除尘防护罩(406)固定连接在支撑支架(403)上，脱离转板(101)转动连接在支撑连接板(401)上，脱离滑杆(103)滑动连接在支撑连接板(401)上，脱离连接杆(104)滑动连接在支撑连接板(401)上，平台支架(301)固定连接在支撑支架(403)上。

5.根据权利要求4所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述一种基板处理装置还包括震动机构(5)，震动机构(5)包括震动滤孔板(501)、震动滑板(502)、震动转杆(503)和震动电机(504)，多个震动滑板(502)均固定连接在震动滤孔板(501)上，多个震动滑板(502)上均设有滑槽，多个震动转杆(503)分别滑动连接在多个震动滑板(502)上，左端的两个震动转杆(503)分别固定连接在两个震动电机(504)的输出轴上，前后两端的两个震动转杆(503)分别通过皮带传动。

6.根据权利要求5所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述一种基板处理装置还包括阻挡机构(6)，阻挡机构(6)包括阻挡板(601)、阻挡滑杆(602)、阻挡轨道(603)和阻挡转动杆(604)，阻挡滑杆(602)固定连接在阻挡板(601)上，两个阻挡轨道(603)上均设有滑槽，阻挡滑杆(602)滑动连接在两个阻挡轨道(603)上，两个阻挡转动杆(604)上均设有滑槽，阻挡轨道(603)滑动连接在两个阻挡转动杆(604)上，脱离带轮轴(106)和两个阻挡转动杆(604)通过皮带传动。