[发明专利]一种用于光刻机上的真空检测装置

摘要

本发明公开了一种用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，底座上侧安装有上罩体，上罩体内顶部设有滑槽，且滑槽内安装有Y轴丝杆和Y轴滑块，且两个Y轴滑块之间安装有横向支撑板，横向支撑板下侧通过支臂安装有X轴丝杆和X轴滑块，X轴滑块下侧安装有Z轴电动推杆，Z轴电动推杆下侧通过安装座安装有真空检测装置，上罩体内部一侧通过第一连接杆安装有第一定位夹座，上罩体内部另一侧通过第二连接杆安装有第二定位夹座，第二连接杆通过齿轮组传动连接有第一电机，本发明通过设有的Y轴丝杠、X轴丝杠和Z轴电动推杆，使得便于对真空检测装置沿Y轴、X轴和Z轴移动调节处理，从而满足不同位置的检测处理，有利于提高检测的效率。