[发明专利]一种用于光刻机上的真空检测装置

权利要求书

1.一种用于光刻机上的真空检测装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上侧安装有上罩体(2)，所述上罩体(2)内顶部两侧均开设有滑槽(3)，且滑槽(3)内安装有Y轴丝杆(4)，所述Y轴丝杆(4)上螺纹安装有Y轴滑块(5)，且两个Y轴滑块(5)之间安装有横向支撑板(6)，所述横向支撑板(6)下侧通过支臂(7)安装有X轴丝杆(8)，所述X轴丝杆(8)上螺纹安装有X轴滑块(9)，所述X轴滑块(9)下侧安装有Z轴电动推杆(10)，所述Z轴电动推杆(10)下侧通过安装座安装有真空检测装置(11)，所述上罩体(2)内部一侧通过第一连接杆(13)安装有第一定位夹座(16)，所述上罩体(2)内部另一侧通过第二连接杆(19)安装有第二定位夹座(20)，所述第二连接杆(19)通过齿轮组传动连接有第一电机(23)。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于：所述第一定位夹座(16)和第二定位夹座(20)一侧均开设有凹槽(28)，所述凹槽(28)内侧安装有防护垫(29)。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于：所述Y轴丝杆(4)和Y轴滑块(5)在上罩体(2)顶部的滑槽(3)内平行安装有两组，所述Y轴丝杆(4)一端传动连接有第二电机(27)，且第二电机(27)安装在上罩体(2)外侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于：所述第一连接杆(13)和第一定位夹座(16)之间通过第一轴承套圈(15)转动连接，所述第二连接杆(19)一端通过第二轴承套圈(21)与上罩体(2)内壁转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于：所述第二连接杆(19)上安装有从动齿轮(22)，所述第一电机(23)一端传动连接有主动齿轮(24)，且主动齿轮(24)和从动齿轮(22)啮合连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于：所述第一连接杆(13)一端传动连接有气缸(14)，所述气缸(14)安装在上罩体(2)外侧。

7.根据权利要求1所述的一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于：所述X轴丝杆(8)一端传动连接有第三电机(12)，所述底座(1)一端上侧安装有PLC控制柜(17)，且第一电机(23)和第三电机(12)均与PLC控制柜(17)电性连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于：所述上罩体(2)一侧安装有罩门(25)，所述罩门(25)内部安装有透视窗(26)。