[发明专利]在线往复式蚀刻喷淋装置在审
| 申请号： | 202110428138.1 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113005455A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈利解;魏静;门松明珠;周爱和 | 申请（专利权）人： | 昆山一鼎工业科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/08 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 赵旭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在线往复式蚀刻喷淋装置，包括：驱动组件；传动组件，传动组件具有一个输入端和两个输出端，传动组件的输入端与驱动组件相连；上喷淋组件，上喷淋组件与一输出端相连，驱动部件通过传动组件驱动上喷淋组件往复运动；下喷淋组件，下喷淋组件设于上喷淋组件的下方，且与上喷淋组件相对设置，下喷淋组件与另一输出端相连，驱动部件通过传动组件驱动下喷淋组件往复运动。本发明结构简单且灵活，利用相对设置的上喷淋组件和下喷淋组件对产品同时进行蚀刻喷淋实现了双面喷淋，利用传动组件将驱动组件的动力同时传输给上喷淋组件和下喷淋组件，减少了动力部件的使用数量。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 往复 蚀刻 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
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