[发明专利]在线往复式蚀刻喷淋装置在审

专利信息
申请号: 202110428138.1 申请日: 2021-04-21
公开(公告)号: CN113005455A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 陈利解;魏静;门松明珠;周爱和 申请(专利权)人: 昆山一鼎工业科技有限公司
主分类号: C23F1/02 分类号: C23F1/02;C23F1/08
代理公司: 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 代理人: 赵旭
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 在线 往复 蚀刻 喷淋 装置
【说明书】:

发明公开了一种在线往复式蚀刻喷淋装置,包括:驱动组件;传动组件,传动组件具有一个输入端和两个输出端,传动组件的输入端与驱动组件相连;上喷淋组件,上喷淋组件与一输出端相连,驱动部件通过传动组件驱动上喷淋组件往复运动;下喷淋组件,下喷淋组件设于上喷淋组件的下方,且与上喷淋组件相对设置,下喷淋组件与另一输出端相连,驱动部件通过传动组件驱动下喷淋组件往复运动。本发明结构简单且灵活,利用相对设置的上喷淋组件和下喷淋组件对产品同时进行蚀刻喷淋实现了双面喷淋,利用传动组件将驱动组件的动力同时传输给上喷淋组件和下喷淋组件,减少了动力部件的使用数量。

技术领域

本发明涉及喷淋装置技术领域,尤其涉及一种在线往复式蚀刻喷淋装置。

背景技术

喷淋式蚀刻机在应用于对金属片的蚀刻,是通过化学液对需镂空部分进行一系列的镂空,喷淋式蚀刻机是金属片蚀刻镂空制造过程的关键设备之一。随着目前国内外手机、平板电脑、照相机、摄像机等行业升温和产量增加,市场对金属片镂空的需求与日剧增,金属片镂空制造企业对制作工序设备的需求将越来越多。

目前传统喷淋装置通常采用单面喷淋结构和直线型布置喷嘴,其只能实现单面喷淋,同时喷嘴到产品的距离、喷嘴的布置、喷淋机构的摇摆幅度小,无法根据喷嘴到产品的距离做有效调节,一方面所喷淋的蚀刻药水不能在被喷淋产品的表面达到一定的量,因而无法进行有效的蚀刻工作,影响了产品表面的蚀刻精度,另一方面由于直线布置喷嘴的方式和摇摆幅度小,因此对产品表面的蚀刻均匀性也有较大影响。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此,本发明提出一种在线往复式蚀刻喷淋装置,该在线往复式蚀刻喷淋装置采用双面喷淋,可调节喷嘴到产品距离,具有较大的摇摆幅度,采用了喷嘴交错排列方式,不仅保证了蚀刻产品精度,还提高了产品蚀刻的均匀性。

根据本发明实施例的在线往复式蚀刻喷淋装置,包括:驱动组件;传动组件,所述传动组件具有一个输入端和两个输出端,所述传动组件的输入端与所述驱动组件相连;上喷淋组件,所述上喷淋组件与一所述输出端相连,所述驱动部件通过所述传动组件驱动所述上喷淋组件往复运动;下喷淋组件,所述下喷淋组件设于所述上喷淋组件的下方,且与所述上喷淋组件相对设置,所述下喷淋组件与另一所述输出端相连,所述驱动部件通过所述传动组件驱动所述下喷淋组件往复运动。

根据本发明一个实施例,所述上喷淋组件与所述下喷淋组件相互平行,所述上喷淋组件与所述下喷淋组件在处于同一时刻时的运动方向相反。通过交错喷淋,提高了喷淋的效果。

根据本发明一个实施例,所述传动组件包括:主轴,所述主轴的一端与所述驱动组件相连;上凸轮,所述上凸轮套设于所述主轴上;上连杆,所述上连杆位于所述上喷淋组件的上方,所述上连杆的一端与所述上喷淋组件转动相连,所述上连杆的另一端与所述上凸轮的外周缘转动相连。

根据本发明一个实施例,所述传动组件还包括:下凸轮,所述下凸轮套设于所述主轴上;下连杆,所述下连杆位于所述下喷淋组件的下方,所述下连杆的一端与所述下喷淋组件转动相连,所述下连杆的另一端与所述下凸轮的外周缘转动相连。利用凸轮实现往复运动结构简单,而下凸轮的凸起方向与上凸轮的凸起方向相反,使得主轴在转动时受到下凸轮与上凸轮的作用力相对,能够抵消大部分作用力,进而使得主轴受到的载荷降低,从而提高了使用寿命。

根据本发明一个实施例,所述上喷淋组件包括:上框体,所述上框体为方形框架结构;上连接块,所述上连接块设于所述上框体上,所述上连接块与所述上连杆的一端转动相连;多个上喷淋管路,所述多个上喷淋管路平行设于所述上框架内;多个上喷嘴,所述多个上喷嘴均匀设于所述多个上喷淋管路上,所述多个上喷嘴朝向所述下喷淋组件。

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