[发明专利]在线往复式蚀刻喷淋装置

权利要求书

1.一种在线往复式蚀刻喷淋装置，其特征在于，包括：

驱动组件(1)；

传动组件(2)，所述传动组件(2)具有一个输入端和两个输出端，所述传动组件(2)的输入端与所述驱动组件(1)相连；

上喷淋组件(4)，所述上喷淋组件(4)与一所述输出端相连，所述驱动部件(1)通过所述传动组件(2)驱动所述上喷淋组件(4)往复运动；

下喷淋组件(5)，所述下喷淋组件(5)设于所述上喷淋组件(4)的下方，且与所述上喷淋组件(4)相对设置，所述下喷淋组件(5)与另一所述输出端相连，所述驱动部件(1)通过所述传动组件(2)驱动所述下喷淋组件(5)往复运动。

2.根据权利要求1所述的在线往复式蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述上喷淋组件(4)与所述下喷淋组件(5)相互平行，所述上喷淋组件(4)与所述下喷淋组件(5)在处于同一时刻时的运动方向相反。

3.根据权利要求2所述的在线往复式蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述传动组件(2)包括：

主轴(21)，所述主轴(21)的一端与所述驱动组件(1)相连；

上凸轮(22)，所述上凸轮(22)套设于所述主轴(21)上；

上连杆(24)，所述上连杆(24)位于所述上喷淋组件(4)的上方，所述上连杆(24)的一端与所述上喷淋组件(4)转动相连，所述上连杆(24)的另一端与所述上凸轮(22)的外周缘转动相连。

4.根据权利要求3所述的在线往复式蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述传动组件(2)还包括：

下凸轮(23)，所述下凸轮(23)套设于所述主轴(21)上；

下连杆(25)，所述下连杆(25)位于所述下喷淋组件(5)的下方，所述下连杆(25)的一端与所述下喷淋组件(5)转动相连，所述下连杆(25)的另一端与所述下凸轮(23)的外周缘转动相连。

5.根据权利要求4所述的在线往复式蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述上喷淋组件(4)包括：

上框体(41)，所述上框体(41)为方形框架结构；

上连接块(43)，所述上连接块(43)设于所述上框体(41)上，所述上连接块(43)与所述上连杆(24)的一端转动相连；

多个上喷淋管路，所述多个上喷淋管路平行设于所述上框架(41)内；

多个上喷嘴(42)，所述多个上喷嘴(42)均匀设于所述多个上喷淋管路上，所述多个上喷嘴(42)朝向所述下喷淋组件(5)。

6.根据权利要求5所述的在线往复式蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述下喷淋组件(5)包括：

下框体(51)，所述下框体(51)为方形框架结构；

下连接块(53)，所述下连接块(53)设于所述下框体(51)上，所述下连接块(53)与所述下连杆(25)的一端转动相连；

多个下喷淋管路，所述多个下喷淋管路平行设于所述下框架(51)内，相邻两个所述下喷淋管路之间设有间隙；

多个下喷嘴(52)，所述多个下喷嘴(52)均匀设于所述多个下喷淋管路上，所述多个下喷嘴(52)朝向所述上喷淋组件(4)。

7.根据权利要求6所述的在线往复式蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述多个上喷淋管路和所述多个下喷淋管路均为波形结构，所述上喷嘴(42)设于所述上喷淋管路的波峰或波谷处，所述下喷嘴(52)设于所述下喷淋管路的波峰或波谷处，所述多个上喷嘴(42)和所述多个下喷嘴(52)在水平面的正投影相互交错排列。

8.根据权利要求2所述的在线往复式蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述驱动组件(1)包括：

电机座(12)；

电机(11)，所述电机(11)设于所述电机座(12)上；

联轴器(13)，所述联轴器(13)设于所述电机座(12)内，所述联轴器(13)的一端与所述电机(11)相连，所述联轴器(13)的另一端与所述主轴(21)相连。