[发明专利]覆盖监测有效
| 申请号： | 202110410254.0 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113538328B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | V·开普兰;S·阿达勒;L·J·沙查尔;K·R·胡琴 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于覆盖监测的方法、非暂时性计算机可读介质和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 覆盖 监测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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