[发明专利]覆晶型激光器件以及制作方法在审

专利信息
申请号: 202110407840.X 申请日: 2021-04-15
公开(公告)号: CN113131338A 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 曾评伟;林志东;范纲维 申请(专利权)人: 厦门市三安集成电路有限公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183;H01S5/02
代理公司: 北京超成律师事务所 11646 代理人: 裴素英
地址: 361100 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 本申请实施例提供一种覆晶型激光器件以及制作方法,包括衬底、设置于衬底上的外延层组,该外延层组内形成有出光区域,还包括设置于衬底远离外延层组一侧的第一电极、设置于外延层组远离衬底一侧的第二电极,第一电极的位置与出光区域位置对应。其中,在衬底和外延层组中开设有垂直贯穿衬底和外延层组的通孔,通孔的位置与第二电极位置对应。此外,器件还包括形成于通孔内壁的绝缘层,及形成于通孔内的导电金属,该导电金属将第二电极引至衬底的远离外延层组的一侧。如此,可在无需翻转器件的情况下,将第二电极引至衬底一侧,光线可由出光区域从外延层组出光而无需经过衬底,无需受到衬底能隙的限制,可根据实际应用需求,生产各种波长的产品。
搜索关键词: 覆晶型 激光 器件 以及 制作方法
【主权项】:
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