[发明专利]一种多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料的制备方法及其产品

摘要

本发明公开了一种多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料的制备方法及其产品，属于金刚石膜复合材料制备技术领域；所述制备方法包括：在硅衬底上沉积出金刚石膜；然后采用磁控溅射法，在所得金刚石膜表面溅射一层过渡金属膜；之后将磁控溅射处理后的金刚石膜置于微波化学气相沉积系统中，进行微波等离子体刻蚀即得所述复合材料；本发明将金刚石膜的多孔处理与其复合材料制备合二为一，在金刚石膜表面原位制备出的多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料具有高比表面积、良好的导电性和多位点的优势，在药物负载、化学催化、传感器等领域具有广阔的应用前景。