[发明专利]一种多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料的制备方法及其产品有效
| 申请号： | 202110392429.X | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113088921B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 杨黎;冯曙光;郭胜惠;李思佳;高冀芸 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/511;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562 | 代理人： | 张雪 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 金刚石 三维 纳米 网络 复合材料 制备 方法 及其 产品 | ||
1.一种多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)在硅衬底上沉积出金刚石膜；
(2)采用磁控溅射法，在步骤(1)所得金刚石膜表面溅射一层过渡金属膜；
(3)将步骤(2)磁控溅射处理后的金刚石膜置于微波化学气相沉积系统中，进行微波等离子体刻蚀，即得所述多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料；
所述步骤(1)中，采用微波化学气相沉积法在硅衬底上沉积出金刚石膜，所述微波化学气相沉积法具体为：采用H2：350～450sccm、CH4：8～12sccm的气氛，压强为12～15KPa，温度为800～900℃，时间为4.5～5.5h。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述金刚石膜的厚度为微米级或纳米级。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述过渡金属为铁、钴及镍中的一种。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述过渡金属膜的厚度为5～50nm。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述微波等离子体刻蚀的温度为600～900℃，压强为11.5～15.5KPa，刻蚀时间为10～80min。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述等离子体为氢等离子体或氢氩等离子体。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体为氢等离子体时，氢气流量为350～450sccm；所述等离子体为氢氩等离子体时，氢气的流量为300～400sccm，氩气的流量为40～60sccm。
8.一种根据权利要求1～7任一项所述的制备方法制备得到的多孔金刚石膜/三维碳纳米线网络复合材料。
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