[发明专利]一种生长氟化锂单晶的装置及生长方法在审
申请号: | 202110392395.4 | 申请日: | 2021-04-13 |
公开(公告)号: | CN113061980A | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 徐悟生;朱逢锐;彭工;周方;张斌;姜美燕;杨春晖 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛本征晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/12 | 分类号: | C30B15/12;C30B29/12 |
代理公司: | 苏州德坤知识产权代理事务所(普通合伙) 32523 | 代理人: | 查杰 |
地址: | 066000 河北省秦*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种生长氟化锂单晶的装置,包括炉体,所述炉体内设置有保温组件和加热器,炉体内还设置有外坩埚和内坩埚,内坩埚固定设置在炉体内,外坩埚罩设在内坩埚底部,外坩埚与第一动力装置连接,第一动力装置带动外坩埚转动以及沿内坩埚轴向移动,内坩埚上方设置有籽晶杆,籽晶杆与第二动力装置连接带动籽晶杆转动以及沿内坩埚轴向移动;内坩埚底部为锥形面,且锥形面的底部上还设置有过滤孔;还公开了生长方法,通过外坩埚旋转向外聚集杂质,通过溢流的方式将无杂质的原料引入内坩埚内供生长所用。本发明能够有效的将杂质与生长用熔体表面分离,保证生长成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 生长 氟化 锂单晶 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于秦皇岛本征晶体科技有限公司,未经秦皇岛本征晶体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110392395.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。