[发明专利]一种探针机构和可变温真空探针平台在审
| 申请号： | 202110376402.1 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113075128A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 方辉 | 申请（专利权）人： | 武汉佰力博科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84;G01N27/02 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 丁倩 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针机构，包括探针组件，探针组件包括固定部、探针及第一弹性部，探针沿自身轴向可滑动连接于固定部，第一弹性部连接于固定部和探针，用于给探针相对固定部的移动提供弹性阻尼。本发明能有效避免探针划伤待测样品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 机构 可变 真空 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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