[发明专利]一种探针机构和可变温真空探针平台

说明书

本发明公开了一种探针机构，包括探针组件，探针组件包括固定部、探针及第一弹性部，探针沿自身轴向可滑动连接于固定部，第一弹性部连接于固定部和探针，用于给探针相对固定部的移动提供弹性阻尼。本发明能有效避免探针划伤待测样品。

技术领域

本发明涉及材料电学性能测量技术领域，尤其涉及一种探针机构和可变温真空探针平台。

背景技术

新材料研发的过程中，需要对新材料的方阻、电阻率、电阻温度系数等电学性能参数进行测量。

目前的市场上的四探针测试仪，通过探针对待检测的材料进行测试时，探针逐渐接近待检测的材料，但是由于探针与驱动探针移动的机构刚性连接，当探针抵接于待检测的材料后如果受力继续移动，会导致驱使探针移动的力直接作用于待检测的材料，容易刮伤待检测的材料，设计不合理。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种探针机构和可变温真空探针平台，解决现有技术中探针容易刮伤待检测的材料的技术问题。

为达到上述技术目的，本发明的技术方案提供一种探针机构，包括：

探针组件，包括固定部、探针及第一弹性部，所述探针沿自身轴向可滑动连接于所述固定部，所述第一弹性部连接于所述固定部和探针，用于给所述探针相对所述固定部的移动提供弹性阻尼。

进一步的，所述探针机构还包括三维移动组件，所述三维移动组件连接于所述固定部，用于驱动所述固定部、探针及第一弹性部沿三维方向移动。

进一步的，所述探针机构还包括连接组件，所述连接组件包括连接块，所述连接块连接于所述三维移动组件，所述固定部可拆卸连接于所述连接块。

本发明还涉及一种可变温真空探针平台，其包括多个上述的探针机构

进一步的，所述可变温真空探针平台还包括真空机构、样品支撑机构及加热制冷机构，所述真空机构包括真空筒，所述真空筒内设有真空腔，所述样品支撑机构包括样品支撑台，所述样品支撑台内置于所述真空腔，多个所述探针机构沿所述真空筒的周向间隔设置，所述加热制冷机构包括制冷组件和加热组件，所述制冷组件的制冷端内置于所述真空腔并连接于所述样品支撑台，用于对所述样品支撑台上的样品进行制冷，所述加热组件内置于所述真空腔，用于对所述样品支撑台上的样品进行加热。

进一步的，所述样品支撑台远离所述制冷组件的制冷端的一侧开设有容纳槽，所述加热组件包括电热丝，所述电热丝内置于所述容纳槽。

进一步的，所述真空筒的端部开口，所述真空机构还包括盖板和透光板，所述盖板相对所述真空筒的开口设置并连接于所述真空筒，所述盖板开设有观察孔，所述透光板相对所述观察孔设置并可拆卸连接于所述盖板。

进一步的，所述可变温真空探针平台还包括显微镜机构，所述显微镜机构包括显微镜，所述显微镜相对所述透光板设置。

进一步的，所述真空筒还开设有与所述真空腔相连通的多个固定孔，所述探针机构与所述固定孔一一对应设置，所述探针内置于所述真空腔，所述连接组件还包括过渡块和连接杆，所述过渡块连接于所述连接块，所述连接杆的一端连接于所述过渡块、另一端沿轴向开设有阶梯孔，所述阶梯孔贯穿所述连接杆且其小径段相对大径段靠近所述连接块贯穿所述连接杆，所述固定部呈阶梯状，所述固定部的小径段可滑动插设于所述阶梯孔的大径段。