[发明专利]一种探针机构和可变温真空探针平台

权利要求书

1.一种探针机构，其特征在于，包括：

探针组件，包括固定部、探针及第一弹性部，所述探针沿自身轴向可滑动连接于所述固定部，所述第一弹性部连接于所述固定部和探针，用于给所述探针相对所述固定部的移动提供弹性阻尼。

2.根据权利要求1所述的探针机构，其特征在于，所述探针机构还包括三维移动组件，所述三维移动组件连接于所述固定部，用于驱动所述固定部、探针及第一弹性部沿三维方向移动。

3.根据权利要求2所述的探针机构，其特征在于，所述探针机构还包括连接组件，所述连接组件包括连接块，所述连接块连接于所述三维移动组件，所述固定部可拆卸连接于所述连接块。

4.一种可变温真空探针平台，其特征在于，包括多个权利要求1至3中任一项所述的探针机构。

5.根据权利要求4所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述可变温真空探针平台还包括真空机构、样品支撑机构及加热制冷机构，所述真空机构包括真空筒，所述真空筒内设有真空腔，所述样品支撑机构包括样品支撑台，所述样品支撑台内置于所述真空腔，多个所述探针机构沿所述真空筒的周向间隔设置，所述加热制冷机构包括制冷组件和加热组件，所述制冷组件的制冷端内置于所述真空腔并连接于所述样品支撑台，用于对所述样品支撑台上的样品进行制冷，所述加热组件内置于所述真空腔，用于对所述样品支撑台上的样品进行加热。

6.根据权利要求5所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述样品支撑台远离所述制冷组件的制冷端的一侧开设有容纳槽，所述加热组件包括电热丝，所述电热丝内置于所述容纳槽。

7.根据权利要求5所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述真空筒的端部开口，所述真空机构还包括盖板和透光板，所述盖板相对所述真空筒的开口设置并连接于所述真空筒，所述盖板开设有观察孔，所述透光板相对所述观察孔设置并可拆卸连接于所述盖板。

8.根据权利要求7所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述可变温真空探针平台还包括显微镜机构，所述显微镜机构包括显微镜，所述显微镜相对所述透光板设置。

9.根据权利要求7所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述真空筒还开设有与所述真空腔相连通的多个固定孔，所述探针机构与所述固定孔一一对应设置，所述探针内置于所述真空腔，所述连接组件还包括过渡块和连接杆，所述过渡块连接于所述连接块，所述连接杆的一端连接于所述过渡块、另一端沿轴向开设有阶梯孔，所述阶梯孔贯穿所述连接杆且其小径段相对大径段靠近所述连接块贯穿所述连接杆，所述探针组件还包括及连接部，所述连接部呈阶梯状，所述连接部的小径段可滑动插设于所述阶梯孔的大径段，所述固定部可拆卸连接于所述连接部。

10.根据权利要求9所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述连接杆的另一端的周向的外壁开设有至少一个第一限位孔，所述第一限位孔与所述阶梯孔相连通，所述连接部相对所述第一限位孔开设有第二限位孔，所述连接组件还包括顶针、第二弹性部及限位部，所述顶针呈阶梯状，所述顶针的小径段可滑动插设于所述阶梯孔的小径段，所述顶针的大径段可滑动内置于所述阶梯孔的大径段，所述第二弹性部内置于所述阶梯孔的大径段，所述第二弹性部的一端连接于所述阶梯孔的大径段的底部内壁、另一端连接于所述顶针的大径段，用于推动所述顶针的大径段抵接于所述连接部的小径段，所述限位部插设于所述第一限位孔和第二限位孔，用于限制所述连接部相对所述连接杆的滑动。