[发明专利]一种薄膜晶体管、显示面板以及显示装置在审
| 申请号： | 202110368815.5 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN115188824A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 张志江 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L27/32;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 许铨芬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例涉及一种薄膜晶体管、显示面板以及显示装置，薄膜晶体管包括基板；栅极，叠置于基板；绝缘层，叠置于栅极；防护层，叠置于绝缘层，防护层绝缘；漏极；源极，源极与漏极之间具有间隙，防护层于间隙处背向基板的一表面平坦；半导体层，叠置于防护层，且半导体层填充间隙，半导体层分别与漏极和源极电连接。通过在薄膜晶体管中增设防护层，防护层于源极和漏极之间的的间隙处背向基板的一表面平坦，半导体层填充于间隙，即防护层与半导体层接触的界面平坦，则一方面可改善薄膜晶体管在形成源极和漏极时对绝缘层的过刻蚀，另一方面防护层与半导体层接触的界面平坦，薄膜晶体管的电学性能优良，薄膜晶体管性能可控且稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 显示 面板 以及 显示装置 | ||
【主权项】：
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