[发明专利]一种靶材背板U型槽的自动抛光装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202110349661.5 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113070801A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;刘明健 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/02;B24B41/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材背板U型槽的自动抛光装置及其使用方法，所述抛光装置包括打磨平台、打磨机器人、机器人地轨、电路控制柜以及工具平台；所述打磨平台有两个，平行设置于所述机器人地轨的两侧；所述电路控制柜位于两个打磨平台之间，且设置于所述机器人地轨的任意一端；所述工具平台设置于所述电路控制柜上；所述打磨机器人放置于所述机器人地轨上；所述打磨机器人包括主体与机械臂，所述机械臂的前端设置有夹孔，所述夹孔中连接有打磨刷；所述抛光装置通过多种结构的优化设计，实现了对靶材背板U型槽的自动抛光功能，且使用方法简单，明显提高生产效率以及产品合格率，具有较好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背板 自动 抛光 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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