[发明专利]一种靶材背板U型槽的自动抛光装置及其使用方法

权利要求书

1.一种靶材背板U型槽的自动抛光装置的使用方法，其特征在于，所述抛光装置包括打磨平台、打磨机器人、机器人地轨、电路控制柜以及工具平台；

所述打磨平台有两个，平行设置于所述机器人地轨的两侧；所述电路控制柜位于两个打磨平台之间，且设置于所述机器人地轨的任意一端；所述工具平台设置于所述电路控制柜上；所述打磨机器人放置于所述机器人地轨上；所述打磨机器人包括主体与机械臂，所述机械臂的前端设置有夹孔，所述夹孔中连接有打磨刷；

所述打磨平台上放置有靶材，所述靶材包括靶材主体和靶材背板，所述靶材背板上设置有U型槽；

所述U型槽包括第一U型槽和第二U型槽；

所述第一U型槽靶设置于所述靶材背板背离靶材主体的一侧；

所述第一U型槽的底部设置有第二U型槽；

所述使用方法包括以下步骤：

将靶材背板朝上放置于打磨平台上，将打磨刷装入机械臂的夹孔中，启动打磨机器人控制机械臂，使打磨刷置于所述靶材背板的第一U型槽内，然后进行抛光；

所述抛光过程中打磨刷的下压力为0.4~0.6kg；

所述抛光过程中，所述打磨刷的转速为1450~1550r/min；

所述打磨刷包括钢丝刷；

所述钢丝刷的刷头的直径为14~16mm。

2.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述打磨平台靠近所述机器人地轨的长边一侧设置有气动吸盘，每个打磨平台设置的气动吸盘不少于5个。

3.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述打磨平台远离所述电路控制柜的短边一侧设置有平行于短边的定位块。

4.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述打磨平台设置有定位块一端的内侧长边对称设置有安全光栅。

5.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，每个所述打磨平台的中间部位均设置有两个凹槽。

6.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述工具平台包括备用打磨刷收纳区和报废打磨刷收纳区。

7.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述钢丝刷的刷头的直径为15mm。

8.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述靶材包括LCD用平面靶材。

9.根据权利要求8所述的使用方法，其特征在于，所述LCD用平面靶材为分体型靶材。

10.根据权利要求9所述的使用方法，其特征在于，所述LCD用平面靶材包括G10.5系列靶材。

11.根据权利要求10所述的使用方法，其特征在于，所述G10.5系列靶材包括铜靶材。

12.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述U型槽为4个。

13.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述第一U型槽的宽度为19~21mm。

14.根据权利要求13所述的使用方法，其特征在于，所述第一U型槽的深度为5~7mm，并小于所述靶材背板的厚度。

15.根据权利要求14所述的使用方法，其特征在于，所述第一U型槽的长度为45~50mm。

16.根据权利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述第二U型槽的深度与所述第一U型槽的深度之和等于所述靶材背板的厚度。

17.根据权利要求16所述的使用方法，其特征在于，所述第二U型槽的宽度小于所述第一U型槽的宽度。