[发明专利]石墨基板的烘烤方法有效
| 申请号： | 202110348804.0 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113279057B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 葛永晖;梅劲;刘春杨;刘旺平;曹敏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C23C16/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种石墨基板的烘烤方法，属于半导体技术领域。所述烘烤方法包括：将石墨基板放入烤炉中，对所述烤炉内部进行抽真空处理；将所述烤炉内的温度升高至设定温度；向所述烤炉内持续通入氮气，交替通入第一气体和第二气体，通入时间为t4，其中，第一气体为氢气，第二气体用于与所述石墨基板上的附着物进行氧化还原反应，使所述附着物脱离所述石墨基板，所述附着物至少包括铝氮、镓氮颗粒，或者氮化镓、氮化铝化合物；将所述烤炉内的温度降低至室温。采用该烘烤方法可以解决石墨基板不干净，表面容易有杂质附着的情况，改善外延片内圈波长偏短的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 烘烤 方法 | ||
【主权项】：
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