[发明专利]一种升降式芯片检测设备及方法在审
| 申请号： | 202110347163.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112904186A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 彭义青;冼平东;黄明春;容金波;吴述林;黄为民;周厚利;黎启造;谭建军 | 申请（专利权）人： | 深圳市泰克光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 刘昌刚 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种升降式芯片检测设备及方法，其中检测设备包括机架及安装在机架上的双轴移动模块、检测探针模块、积分球升降模块，双轴移动模块上设置有芯片升降模块，检测探针模块上设置有多组检测探针，芯片升降模块用于承载需要检测的芯片并将芯片升降到预设位置并使得芯片的电极与检测探针电性导通，双轴移动模块用于将芯片升降模块及芯片被检测芯片移动到预设位置，积分球升降模块包括积分球装置。该种升降式芯片检测设备及方法具有检测效率高、结构简单、实施成本低、维护便捷等现有技术所不具备的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升降 芯片 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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