[发明专利]一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置在审
| 申请号： | 202110325533.7 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112857231A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王玉鲁;范朦;蒋毅;杨龙;范松如;罗荣荣 | 申请（专利权）人： | 四川欧瑞特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 620500 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置，属于激光测试技术领域，其包括双频激光光源、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜，第一反射镜与双频激光光源的光束呈45°角设置，第二反射镜相对于垂直方向与第一反射镜对称设置，第一反射镜和第二反射镜的中点设置有分束镜，分束镜与第一反射镜平行设置，第二反射镜下方平行设置有第三反射镜，分束镜上方设置有水平设置的Z向反射镜，Z向反射镜与分束镜之间设置有第一测头，第一测头通过光信号连接有第一控制器，第三反射镜反射方向一侧垂直设置有X向反射镜，第三反射镜与X向反射镜之间设置有第二测头，第二测头通过光信号连接有第二控制器，第一控制器与第二控制器连接有主机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双频 激光 光源 双向 位移 反馈 装置 | ||
【主权项】：
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