[发明专利]一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置

说明书

本发明公开了一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置，属于激光测试技术领域，其包括双频激光光源、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜，第一反射镜与双频激光光源的光束呈45°角设置，第二反射镜相对于垂直方向与第一反射镜对称设置，第一反射镜和第二反射镜的中点设置有分束镜，分束镜与第一反射镜平行设置，第二反射镜下方平行设置有第三反射镜，分束镜上方设置有水平设置的Z向反射镜，Z向反射镜与分束镜之间设置有第一测头，第一测头通过光信号连接有第一控制器，第三反射镜反射方向一侧垂直设置有X向反射镜，第三反射镜与X向反射镜之间设置有第二测头，第二测头通过光信号连接有第二控制器，第一控制器与第二控制器连接有主机。

技术领域

本发明属于激光测试技术领域，具体涉及一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置。

背景技术

自King于1963年首次报道了激光反馈干涉(又称激光自混合干涉)现象以来，激光反馈干涉技术得到了国际上很多学者的关注，将其应用于形貌、距离、位移、速度及振动等参数的测量，从而形成了一门新兴的光学测量技术。现如今在双频激光位移反馈领域中，相关技术尚不成熟，存在一定的技术空白，因此，研究一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置具有重要的研究意义。

发明内容

本发明的目的在于解决现有双频激光位移反馈装置的技术空白，提供一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置。

本发明采用的技术方案如下：

一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置，包括双频激光光源、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜，所述第一反射镜与双频激光光源的光束呈45°角设置，所述第二反射镜相对于垂直方向与第一反射镜对称设置，所述第一反射镜和第二反射镜的中点设置有分束镜，所述分束镜与第一反射镜平行设置，所述第二反射镜下方平行设置有第三反射镜，所述分束镜上方设置有水平设置的Z向反射镜，Z向反射镜与分束镜之间设置有第一测头，所述第一测头通过光信号连接有第一控制器，所述第三反射镜反射方向一侧垂直设置有X向反射镜，第三反射镜与X向反射镜之间设置有第二测头，所述第二测头通过光信号连接有第二控制器，所述第一控制器与第二控制器通过电信号连接有主机。

进一步地，所述第一测头包括与Z向反射镜平行设置的1/4波片，1/4波片远离Z向反射镜一侧设置有第一棱镜和第四棱镜，所述第一棱镜和第四棱镜的底边与1/4波片垂直且第一棱镜和第四棱镜的底边相互靠近，所述第一棱镜和第四棱镜之间还设置有第二棱镜和第三棱镜，所述第二棱镜的底边与第四棱镜的底边呈45°角设置，所述第三棱镜的底边与第一棱镜的底边呈45°角设置。

进一步地，所述第二测头包括与X向反射镜平行设置的1/4波片，1/4波片远离X向反射镜一侧设置有第一棱镜和第四棱镜，所述第一棱镜和第四棱镜的底边与1/4波片垂直且第一棱镜和第四棱镜的底边相互靠近，所述第一棱镜和第四棱镜之间还设置有第二棱镜和第三棱镜，所述第二棱镜的底边与第四棱镜的底边呈45°角设置，所述第三棱镜的底边与第一棱镜的底边呈45°角设置。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

1、本发明中，双频激光光源为测量光源，发射频率相近的两束红外激光，通过第一反射镜反射，透过分束镜分束，最后分束到X和Z向。Z向激光通过第一测头，照射到Z向反射镜，垂直反射回第一测头，经过第一测头接收一个单频率的光，通过光纤，传递光信号给第一控制器，第一控制器计算光程差，转换成距离变化值，发射电信号给主机，最终进行Z向位移反馈补偿。同理，X向激光经过第二反射镜，第三反射镜，两次反射照射到X向反射镜，垂直射回第二测头，经过第二测头接收一个单频光，通过光纤传递光信号给第二控制器，第二控制器计算光程差，转换成距离变化值，发射电信号给主机，最终进行X向位移反馈补偿，反馈补偿的位置为XZ向的焦点位置，从而精准的实现了双向位移反馈。

附图说明