[发明专利]一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置在审
| 申请号： | 202110325533.7 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112857231A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王玉鲁;范朦;蒋毅;杨龙;范松如;罗荣荣 | 申请（专利权）人： | 四川欧瑞特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 620500 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双频 激光 光源 双向 位移 反馈 装置 | ||
1.一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置，其特征在于，包括双频激光光源(1)、第一反射镜(2)、第二反射镜(3)、第三反射镜(8)，所述第一反射镜(2)与双频激光光源(1)的光束呈45°角设置，所述第二反射镜(3)相对于垂直方向与第一反射镜(2)对称设置，所述第一反射镜(2)和第二反射镜(3)的中点设置有分束镜(4)，所述分束镜(4)与第一反射镜(2)平行设置，所述第二反射镜(3)下方平行设置有第三反射镜(8)，所述分束镜(4)上方设置有水平设置的Z向反射镜(5)，Z向反射镜(5)与分束镜(4)之间设置有第一测头(6)，所述第一测头(6)通过光信号连接有第一控制器(7)，所述第三反射镜(8)反射方向一侧垂直设置有X向反射镜(9)，第三反射镜(8)与X向反射镜(9)之间设置有第二测头(10)，所述第二测头(10)通过光信号连接有第二控制器(11)，所述第一控制器(7)与第二控制器(11)通过电信号连接有主机(12)。
2.按照权利要求1所述的一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置，其特征在于，所述第一测头(6)包括与Z向反射镜(5)平行设置的1/4波片(17)，1/4波片(17)远离Z向反射镜(5)一侧设置有第一棱镜(13)和第四棱镜(16)，所述第一棱镜(13)和第四棱镜(16)的底边与1/4波片(17)垂直且第一棱镜(13)和第四棱镜(16)的底边相互靠近，所述第一棱镜(13)和第四棱镜(16)之间还设置有第二棱镜(14)和第三棱镜(15)，所述第二棱镜(14)的底边与第四棱镜(16)的底边呈45°角设置，所述第三棱镜(15)的底边与第一棱镜(13)的底边呈45°角设置。
3.按照权利要求1所述的一种基于双频激光光源的双向位移反馈装置，其特征在于，所述第二测头(10)包括与X向反射镜(9)平行设置的1/4波片(17)，1/4波片(17)远离X向反射镜(9)一侧设置有第一棱镜(13)和第四棱镜(16)，所述第一棱镜(16)和第四棱镜(16)的底边与1/4波片(17)垂直且第一棱镜(13)和第四棱镜(16)的底边相互靠近，所述第一棱镜(13)和第四棱镜(16)之间还设置有第二棱镜(14)和第三棱镜(15)，所述第二棱镜(14)的底边与第四棱镜(16)的底边呈45°角设置，所述第三棱镜(15)的底边与第一棱镜(13)的底边呈45°角设置。
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