[发明专利]一种蒸发源有效
| 申请号： | 202110321264.7 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113061848B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 张久杰;季渊 | 申请（专利权）人： | 南京昀光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 211100 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种蒸发源，该蒸发源包括坩埚、加热丝和多个半导体制冷片；所述加热丝围绕所述坩埚分布，多个所述半导体制冷片设置于所述加热丝远离所述坩埚的一侧，且多个所述半导体制冷片沿环绕所述坩埚的方向依次排列；每一所述半导体制冷片包括冷端和热端，所述冷端用于制冷，所述热端用于制热；所述半导体制冷片包括第一制冷片和第二制冷片，所述第一制冷片的冷端设置于邻近所述坩埚的一侧，所述第二制冷片的热端设置于邻近所述坩埚的一侧。本发明实施例提供的蒸发源，能够提高蒸发源的升温速率和降温速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 | ||
【主权项】：
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