[发明专利]清洗喷嘴和清洗方法在审
| 申请号： | 202110317816.7 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113492136A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 伊藤史哲 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B5/04;B08B6/00;B29C63/48;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供清洗喷嘴和清洗方法，抑制已吹走的灰尘再次附着于被清洗面。清洗喷嘴将保持被加工物的保持面或保持面上所保持的被加工物的表面中的任意面作为被清洗面进行清洗，其中，该清洗喷嘴具有：空气喷嘴，其在与被清洗面平行的方向上延伸，具有朝向被清洗面喷射空气的喷射口；以及吸气嘴，其与空气喷嘴相邻而与空气喷嘴并列地配置，具有对被清洗面上的空气进行吸引的吸气口。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 喷嘴 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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