[发明专利]清洗喷嘴和清洗方法

权利要求书

1.一种清洗喷嘴，其将保持被加工物的保持面或该保持面上所保持的被加工物的表面中的任意面作为被清洗面进行清洗，其中，

该清洗喷嘴具有：

空气喷嘴，其在与该被清洗面平行的方向上延伸，具有朝向该被清洗面喷射空气的喷射口；以及

吸气嘴，其与该空气喷嘴相邻而与该空气喷嘴并列地配置，具有对该被清洗面上的空气进行吸引的吸气口。

2.根据权利要求1所述的清洗喷嘴，其中，

该空气喷嘴从该喷射口喷射离子化的空气。

3.一种清洗方法，使用清洗喷嘴将保持被加工物的保持面或该保持面上所保持的被加工物的表面中的任意面作为被清洗面进行清洗，其中，

该清洗喷嘴具有：

空气喷嘴，其在与该被清洗面平行的方向上延伸，具有朝向该被清洗面喷射空气的喷射口；以及

吸气嘴，其与该空气喷嘴相邻而与该空气喷嘴并列地配置，具有对该被清洗面上的空气进行吸引的吸气口，

该清洗方法包含：

配置工序，在该被清洗面的上方空出间隙地与该被清洗面平行地配置该清洗喷嘴；以及

清洗工序，一边使通过该配置工序而配置的该清洗喷嘴和该被清洗面相对地在与该被清洗面平行的方向上并且在与该清洗喷嘴的延伸方向交叉的方向上移动，一边从该喷射口喷射空气并且通过该吸气口将在该被清洗面上发生了反射的空气吸入，从而对该被清洗面进行清洗。

4.根据权利要求3所述的清洗方法，其中，

该空气喷嘴从该喷射口喷射离子化的空气。

5.根据权利要求3或4所述的清洗方法，其中，

在该清洗工序中，在该被清洗面相对于该清洗喷嘴的移动方向上，该吸气嘴的该吸气口配置于比该空气喷嘴的该喷射口靠上游侧的位置。