[发明专利]一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法在审
| 申请号： | 202110309842.5 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113073298A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 李海霞 | 申请（专利权）人： | 盐城市海上霞彩商贸经营有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;B32B37/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法，包括基座，所述基座的顶面上固设有磁控溅射空间，所述磁控溅射空间用于对板材进行磁控溅射，所述磁控溅射空间下侧的所述基座内转动设有第一夹持盘，所述第一夹持盘上开设有两个用于存放板材的暂存腔，所述磁控溅射空间的右侧固设有支架，所述支架的下侧转动设有第二夹持盘，所述第二夹持盘与所述第一夹持盘相同设计，所述第二夹持盘用于暂时存放磁控溅射处理后的板材，本发明能够实现对两种板材的自动上料，并对作为基板的板材进行磁控溅射，然后自动运输到载物板然后，同时将两种板材自动压合，然后转移出去，整个设备自动化程度高，对人工依赖小，节省了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板材 合成 磁控溅射 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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