[发明专利]一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法

说明书

本发明公开了一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法，包括基座，所述基座的顶面上固设有磁控溅射空间，所述磁控溅射空间用于对板材进行磁控溅射，所述磁控溅射空间下侧的所述基座内转动设有第一夹持盘，所述第一夹持盘上开设有两个用于存放板材的暂存腔，所述磁控溅射空间的右侧固设有支架，所述支架的下侧转动设有第二夹持盘，所述第二夹持盘与所述第一夹持盘相同设计，所述第二夹持盘用于暂时存放磁控溅射处理后的板材，本发明能够实现对两种板材的自动上料，并对作为基板的板材进行磁控溅射，然后自动运输到载物板然后，同时将两种板材自动压合，然后转移出去，整个设备自动化程度高，对人工依赖小，节省了人力。

技术领域

本发明涉及磁控溅射技术领域，具体为一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法。

背景技术

板材的加工处理中经常会用到磁控溅射对板材进行表面处理，然后使板材的表面容易与另一板材压合，但是在现有的设备中，一般是先将基板进行磁控溅射处理，然后储存起来，转移到下移生产线上，进行压合处理，此种方式比较麻烦，而且板材在磁控处理后，表面残留的温度需要及时进行压合，否则转移到下一设备中进行压合，还需要重新加热，比较麻烦，浪费能源，而且传统的设备上料也比较麻烦，因此有必要设计一种磁控溅射和压合一体的板材处理设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法，用于克服现有技术中的上述缺陷。

根据本发明的一种板材合成用磁控溅射设备，包括基座，所述基座的顶面上固设有磁控溅射空间，所述磁控溅射空间用于对板材进行磁控溅射，所述磁控溅射空间下侧的所述基座内转动设有第一夹持盘，所述第一夹持盘上开设有两个用于存放板材的暂存腔，所述磁控溅射空间的右侧固设有支架，所述支架的下侧转动设有第二夹持盘，所述第二夹持盘与所述第一夹持盘相同设计，所述第二夹持盘用于暂时存放磁控溅射处理后的板材，所述第二夹持盘与所述磁控溅射空间之间设有一L型板，所述L型板摆动能够将所述第二夹持盘内的板材向右推出所述第二夹持盘外，所述支架的下侧上下滑动设有一用于控制所述L型板摆动的螺纹块，所述螺纹块的右侧固设有齿条，所述基座的下侧转动设有一旋转盘，所述旋转盘位于所述第二夹持盘的右侧，所述旋转盘上开设有两个大小相同的加工腔，所述旋转盘的右下侧开设有一升降槽，所述升降槽内上下滑动设有一载物板，所述载物板用于托起板材，所述支架上设有一可上下滑动的压合板，所述压合板用于两种板材按压拼接，所述压合板位于所述载物板的正上方，且所述压合板上侧面固设有一滑套，所述齿条的右侧转动设有小齿轮，所述小齿轮与所述齿条啮合，所述滑套的左侧转动设有一大齿轮，所述大齿轮与所述滑套啮合，所述大齿轮与所述小齿轮之间通过传动皮带动力连接。

进一步的技术方案，所述基座内靠近左侧的位置处开设有进料腔，所述第一夹持盘的一部分伸入所述进料腔内，所述进料腔内左右滑动设有一用于将板材推入第一夹持盘内的推料板，所述推料板的左侧与一固设在所述基座上的进料液压泵动力连接。

进一步的技术方案，所述暂存腔的内壁上滑动设有一夹持块，所述夹持块与所述第一夹持盘之间通过弹簧连接，所述第二夹持盘的一部分伸入所述进料腔内，所述进料腔的上侧的所述基座内固嵌有一主电机，所述主电机的右端动力连接有一向右延伸的主轴，所述主轴贯穿所述第一夹持盘和所述第二夹持盘，并与所述第一夹持盘和所述第二夹持盘固定连接，通过所述主电机的工作，使所述主轴能够带动第一夹持盘旋转，通过夹持块的顶压作用，使板材卡接在暂存腔内。

进一步的技术方案，所述旋转盘的底面上固设有一向下延伸的从动轴，所述从动轴与所述基座转动配合连接，所述从动轴的底端固设有一从动锥齿轮，所述基座的底部设有一左右延伸的底轴，所述底轴的右端固设有一动力锥齿轮，所述动力锥齿轮与所述从动锥齿轮啮合，所述第一夹持盘和所述第二夹持盘之间的搜书进料腔的内壁上转动设有空心转轮，所述主轴有所述底轴之间通过皮带动力连接，所述皮带的中间部分包覆在所述空心转轮上， 通过所述主电机的工作，使所述第一夹持盘、所述第二夹持盘转动，并使所述主轴调动所述底轴旋转，进而使所述旋转盘旋转