[发明专利]一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法

权利要求书

1.一种板材合成用磁控溅射设备，包括基座，其特征在于：所述基座的顶面上固设有磁控溅射空间，所述磁控溅射空间用于对板材进行磁控溅射，所述磁控溅射空间下侧的所述基座内转动设有第一夹持盘，所述第一夹持盘上开设有两个用于存放板材的暂存腔，所述磁控溅射空间的右侧固设有支架，所述支架的下侧转动设有第二夹持盘，所述第二夹持盘与所述第一夹持盘相同设计，所述第二夹持盘用于暂时存放磁控溅射处理后的板材，所述第二夹持盘与所述磁控溅射空间之间设有一L型板，所述L型板摆动能够将所述第二夹持盘内的板材向右推出所述第二夹持盘外，所述支架的下侧上下滑动设有一用于控制所述L型板摆动的螺纹块，所述螺纹块的右侧固设有齿条，所述基座的下侧转动设有一旋转盘，所述旋转盘位于所述第二夹持盘的右侧，所述旋转盘上开设有两个大小相同的加工腔，所述旋转盘的右下侧开设有一升降槽，所述升降槽内上下滑动设有一载物板，所述载物板用于托起板材，所述支架上设有一可上下滑动的压合板，所述压合板用于两种板材按压拼接，所述压合板位于所述载物板的正上方，且所述压合板上侧面固设有一滑套，所述齿条的右侧转动设有小齿轮，所述小齿轮与所述齿条啮合，所述滑套的左侧转动设有一大齿轮，所述大齿轮与所述滑套啮合，所述大齿轮与所述小齿轮之间通过传动皮带动力连接。

2.根据权利要求1所述的一种板材合成用磁控溅射设备，其特征在于：所述基座内靠近左侧的位置处开设有进料腔，所述第一夹持盘的一部分伸入所述进料腔内，所述进料腔内左右滑动设有一用于将板材推入第一夹持盘内的推料板，所述推料板的左侧与一固设在所述基座上的进料液压泵动力连接。

3.根据权利要求2所述的一种板材合成用磁控溅射设备，其特征在于：所述暂存腔的内壁上滑动设有一夹持块，所述夹持块与所述第一夹持盘之间通过弹簧连接，所述第二夹持盘的一部分伸入所述进料腔内，所述进料腔的上侧的所述基座内固嵌有一主电机，所述主电机的右端动力连接有一向右延伸的主轴，所述主轴贯穿所述第一夹持盘和所述第二夹持盘，并与所述第一夹持盘和所述第二夹持盘固定连接，通过所述主电机的工作，使所述主轴能够带动第一夹持盘旋转，通过夹持块的顶压作用，使板材卡接在暂存腔内。

4.根据权利要求3所述的一种板材合成用磁控溅射设备，其特征在于：所述旋转盘的底面上固设有一向下延伸的从动轴，所述从动轴与所述基座转动配合连接，所述从动轴的底端固设有一从动锥齿轮，所述基座的底部设有一左右延伸的底轴，所述底轴的右端固设有一动力锥齿轮，所述动力锥齿轮与所述从动锥齿轮啮合，所述第一夹持盘和所述第二夹持盘之间的搜书进料腔的内壁上转动设有空心转轮，所述主轴有所述底轴之间通过皮带动力连接，所述皮带的中间部分包覆在所述空心转轮上， 通过所述主电机的工作，使所述第一夹持盘、所述第二夹持盘转动，并使所述主轴调动所述底轴旋转，进而使所述旋转盘旋转。

5.根据权利要求4所述的一种板材合成用磁控溅射设备，其特征在于：所述旋转盘的下侧设有一用于运送合成板材的运出传送带，所述运出传送带位于所述从动轴的左侧。

6.根据权利要求5所述的一种板材合成用磁控溅射设备，其特征在于：旋转盘的上侧转动设有用于运送板材的运料轮，且所述运料轮分为左右两部分，且左右两部分所述运料轮之间设有一使所述压合板能够通过的落料口，所述落料口与所述升降槽相对设计。

7.根据权利要求6所述的一种板材合成用磁控溅射设备，其特征在于：所述L型板的折弯处铰接在所述磁控溅射空间的右侧面上，所述支架的顶面上固设有升降电机，所述升降电机的底端动力连接有向下延伸的设置的升降螺杆，所述升降螺杆与所述螺纹块螺纹配合连连接，所述螺纹块与所述L型板之间通过连接杆铰接，所述支架上固设有一导滑杆，所述滑套滑动套设在所述导滑杆的外周上，通过所述升降电机的工作，使所述螺纹块能够上下滑动，并同时使所述压合板能够上下滑动。