[发明专利]一种PECVD石墨舟的清洗方法在审
| 申请号： | 202110292928.1 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113118158A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 张敏;冯晓军;吴群峰 | 申请（专利权）人： | 安徽英发睿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B9/093;F26B9/06;F26B21/00 |
| 代理公司： | 安徽韬越知识产权代理事务所(普通合伙) 34197 | 代理人： | 范雅茜 |
| 地址： | 239300 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及石墨舟领域，具体地说，涉及一种PECVD石墨舟的清洗方法。其包括以下步骤：将石墨舟进行拆卸，将拆卸的部件放入清洗槽中，向清洗槽中倒入纯水和清洗液，然后放入石墨舟，加入去离子液，用于浸泡石墨舟，并进行鼓泡，将清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加热烘干，将石墨舟进行组合安装，该PECVD石墨舟的清洗方法中通过将石墨舟整体进行拆卸后再进行石墨舟的清洗，有利于改善石墨舟的清洗效果，进而提高石墨舟的制程良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 石墨 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽英发睿能科技股份有限公司，未经安徽英发睿能科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110292928.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：振膜结构
- 下一篇：云原生系统的快速部署方法、装置、电子设备和存储介质
