[发明专利]一种PECVD石墨舟的清洗方法

权利要求书

1.一种PECVD石墨舟的清洗方法，包括以下步骤组成：

S1、将石墨舟进行拆卸，将拆卸的部件放入清洗槽中；

S2、向清洗槽中倒入纯水和清洗液，然后放入石墨舟；

S3、加入去离子液，用于浸泡石墨舟，并进行鼓泡；

S4、将清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加热烘干；

S5、将石墨舟进行组合安装。

2.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S1中，对石墨舟片进行拆卸时需要对石墨舟片匀速抬起、取出。

3.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S1中，放入清洗槽包括以下步骤：

S1.1、打开清洗槽排水阀，待清洗槽内废酸排尽，用水枪对清洗槽进行冲洗；

S1.2、关上阀门，确保清洗槽内不会泄露；

S1.3、将石墨舟放进清洗槽中，打开进水阀门。

4.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S2中，往清洗槽里放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止，然后在清洗槽里加入清洗液开始清洗，清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净，如果还未洗干净，再继续清洗，直到干净为止。

5.根据权利要求4所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S2中，清洗液采用浓度为20％～25％的氢氟酸溶液，并且石墨舟要在氢氟酸溶液中浸泡6个小时。

6.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S3中，将S2中的清洗液抽出，用去离子水对石墨舟进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟，再使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟进行溢流漂洗2小时，溢流的同时开启鼓泡。

7.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，将石墨舟从清洗槽中取出后用气枪吹掉表面明显的水珠。

8.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧，温控表设定温度100度，石墨舟在烘箱烘干6—8小时，经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出。

9.根据权利要求8所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，温控表设定温度20度，一般降温半个小时等烘箱里的石墨舟达到常温，可以取出。

10.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S5中，石墨舟组合安装时将石墨舟上的所有螺母扭紧并检查石墨舟所有的陶瓷件，需要更换工艺点的石墨舟，取出后需要入维修间专用货架等待维修。