[发明专利]一种MEMS电容式流量传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110289533.6 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN112683348B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/56 | 分类号： | G01F1/56;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种MEMS电容式流量传感器，包括：衬底；绝缘层，所述绝缘层设置在所述衬底上；第一电极、第二电极，所述第一电极、第二电极间隔设置在所述绝缘层上；微流道，所述微流道设置在所述绝缘层上；其中，所述微流道包括弧形的底壁，所述底壁包括第一介质层、第二介质层，以及夹设在所述第一介质层、所述第二介质层之间的第三电极；所述第三电极分别与所述第一电极、第二电极构成所述MEMS电容式流量传感器的第一敏感电容、第二敏感电容。本发明的传感器具有高线性度、高灵敏度的优点；且可采用MEMS加工工艺进行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 流量传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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