[发明专利]低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法有效
| 申请号： | 202110281890.8 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113446191B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 五反田修平;髙桥走 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B41/06;F04B49/00;F04B49/06;F04B49/22;F04B51/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够缩短低温泵系统的再生时间的低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。所述低温泵系统(100)具备：多个低温泵(10)；以及控制器(20)，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器(22)测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀(24)，以使共用的粗抽泵(32)将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器(20)构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器(22)的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀(24)打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 系统 控制 装置 再生 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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