[发明专利]低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法

说明书

本发明提供一种能够缩短低温泵系统的再生时间的低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。所述低温泵系统(100)具备：多个低温泵(10)；以及控制器(20)，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器(22)测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀(24)，以使共用的粗抽泵(32)将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器(20)构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器(22)的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀(24)打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。

本申请主张基于2020年3月26申请的日本专利申请第2020-056300号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。

背景技术

低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板上并进行排出的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵为所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行将捕捉到的气体向外部排出的再生。

专利文献1：日本特开2013-60853号公报

发明内容

本发明的一种实施方式的示例性目的之一在于缩短低温泵系统的再生时间。

根据本发明的一种实施方式，低温泵系统具备：多个低温泵，其各个低温泵具备将该低温泵连接于共用的粗抽泵的粗抽阀和测定该低温泵内的压力的压力传感器；以及控制器，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀，以使粗抽泵将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。

根据本发明的一种实施方式，提供一种低温泵系统的控制装置。低温泵系统具备连接于共用的粗抽泵的多个低温泵。控制装置具备控制器，该控制器构成为，使粗抽泵将多个低温泵依次减压至第1基准压力，并使减压至第1基准压力的低温泵真空保持，接着使粗抽泵将多个低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器构成为，在将多个低温泵中的某一个低温泵真空保持的期间，使另一个低温泵减压至第1基准压力。

根据本发明的一种实施方式，提供一种低温泵系统的再生方法。低温泵系统具备连接于粗抽泵的多个低温泵。再生方法具备如下步骤：利用粗抽泵将多个低温泵依次减压至第1基准压力；将减压至第1基准压力的低温泵真空保持；以及使用粗抽泵将多个低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。减压至第1基准压力包括在将多个低温泵中的某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。

另外，以上构成要件的任意组合或将本发明的构成要件或表述在方法、装置、系统等之间彼此替换的方式也作为本发明的实施方式而有效。

根据本发明，能够缩短低温泵系统的再生时间。

附图说明

图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵系统的图。

图2是概略地表示图1所示的低温泵系统的低温泵的图。

图3是用于说明实施方式所涉及的低温泵系统的再生方法的流程图。

图4是表示实施方式所涉及的等待顺序列表的一例的图。

图5是表示图3所示的第1减压工序的一例的流程图。

图6是表示图3所示的第2减压工序的一例的流程图。

图7中(a)至(d)是表示用粗抽泵对低温泵进行减压时的压力的经时变化的曲线图。