[发明专利]低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法

权利要求书

1.一种低温泵系统，其特征在于，具备：

多个低温泵，其各个低温泵具备将该低温泵连接于共用的粗抽泵的粗抽阀和测定该低温泵内的压力的压力传感器；以及

控制器，针对所述各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀，以使所述粗抽泵将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比所述第1基准压力更低的第2基准压力，

所述控制器构成为，根据所述多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀打开，以便在将所述某一个低温泵真空保持的期间使所述另一个低温泵减压至所述第1基准压力。

2.根据权利要求1所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制器构成为，将所述某一个低温泵的压力传感器的测定压力与所述第1基准压力进行比较，并在所述测定压力低于所述第1基准压力时，使所述另一个低温泵的粗抽阀打开。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制器具备确定所述多个低温泵使用所述粗抽泵的顺序的第1等待顺序列表，并且所述控制器构成为，按照所述第1等待顺序列表选择所述某一个低温泵，并且选择所述第1等待顺序列表中的所述某一个低温泵的下一个低温泵作为所述另一个低温泵。

4.根据权利要求3所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制器构成为，根据所述多个低温泵的升温完成顺序来确定所述第1等待顺序列表，

并且，各个低温泵具备测定所述低温泵内的温度的温度传感器，所述控制器构成为，将由该低温泵的温度传感器测定的测定温度与再生温度进行比较，并在所述测定温度超过了所述再生温度时，判定为对该低温泵完成了升温。

5.根据权利要求3所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制器具备确定所述多个低温泵使用所述粗抽泵的顺序的不同于所述第1等待顺序列表的第2等待顺序列表，

所述控制器按照所述第2等待顺序列表来选择所述多个低温泵中的一个低温泵，并根据由所选择的低温泵的压力传感器测定的测定压力来控制所选择的低温泵的粗抽阀，以便将所选择的低温泵减压至所述第2基准压力并将其真空保持，接着将所选择的低温泵进一步减压至比所述第2基准压力低的第3基准压力，

并且所述控制器构成为，根据所选择的低温泵的压力传感器的测定压力来使所述第2等待顺序列表中的所选择的低温泵的下一个低温泵的粗抽阀打开，以便在将所选择的低温泵真空保持的期间，使所述下一个低温泵减压至所述第2基准压力。

6.根据权利要求5所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制器根据所述多个低温泵的上一次再生完成顺序来确定所述第2等待顺序列表。

7.根据权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制器构成为，针对所述各个低温泵，在将所述低温泵真空保持的期间，根据该低温泵的压力传感器的测定压力对该低温泵执行基于所述第1基准压力的第1升压率测试。

8.根据权利要求7所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制器构成为，在所述多个低温泵在所述第1升压率测试中均判定为合格的情况下，依次将所述多个低温泵进一步减压至所述第2基准压力。

9.根据权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，

所述第1基准压力选自600～50Pa的范围，所述第2基准压力选自100～10Pa的范围。