[发明专利]一种磁控溅射真空镀膜设备在审
| 申请号： | 202110272046.9 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113046713A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 郭江涛;文继志 | 申请（专利权）人： | 斡兹真空科技（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 廖银洪 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市南*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射真空镀膜设备，包括设备本体，所述设备本体顶部固定安装有固定柱，所述固定柱上端固定安装有罩板，所述罩板下端固定安装有动力装置，所述设备本体底部固定安装有受力板。本发明，通过设置喷洒装置可以在设备出现故障起火时，及时喷洒干粉降温灭火，控制火情蔓延，及时控制火灾，减少设备损害程度，保障了财产安全和生命安全，通过设置动力装置，可以使喷洒装置往复运动，增加了干粉喷洒的面积，更有效的给起火设备灭火，提高了灭火效率，减缓了火灾蔓延速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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