[发明专利]一种三氯氢硅差压耦合精馏工艺及动态控制方案有效

专利信息
申请号: 202110266401.1 申请日: 2021-03-11
公开(公告)号: CN113171629B 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 尹民;陆平;白芳;华超 申请(专利权)人: 中国科学院过程工程研究所
主分类号: B01D3/14 分类号: B01D3/14;B01D3/42;C01B33/107
代理公司: 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 代理人: 姜艳华
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于化工行业的纯化领域,涉及一种三氯氢硅差压耦合精馏工艺及动态控制方案。包括:流量控制器,用于控制进料流率;压力控制器,用于控制精馏塔的塔压;液位控制器,用于控制塔顶回流罐与塔釜液位;温度控制器,用于调节精馏塔的塔温;比例控制器,分别用于固定低压塔回流量与进料流量的比值、高压塔再沸器热负荷与进料流量之间的比值以及高压塔回流量与塔顶采出量之间的比值。本发明工艺过程实现热集成,大幅度降低能量消耗;动态控制方案可以稳健的控制10%以内的进料流量扰动以及25%的进料杂质扰动,分离得到的三氯氢硅产品纯度在99.99%以上;具有较强的鲁棒性与稳定性。
搜索关键词: 一种 三氯氢硅差压 耦合 精馏 工艺 动态控制 方案
【主权项】:
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