[发明专利]一种检测设备和单晶炉在审
| 申请号： | 202110256410.2 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113049022A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王富龙 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00;C30B15/00;C30B29/06;G08C19/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿;顾春天 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区丈*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测设备和单晶炉。检测设备应用于单晶炉，单晶炉包括炉体、密封炉体的密封件以及设置于炉体上的提拉软轴，提拉软轴的材料包括金属材料，提拉软轴与炉体之间密封且绝缘设置，且提拉软轴的一端延伸至炉体内部，另一端位于炉体的外侧；检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，通信模块与提拉软轴电连接，且提拉软轴用于为通信模块传输信号。本发明实施例通过利用提拉软轴传输信号，通过有线传输的方式，克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽，不需要多次开启和关闭单晶炉，此外，也不需要单独设置传输的信号线，不会对单晶炉的密闭效果造成影响，有利于提高测试效率和测试准确程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 设备 单晶炉 | ||
【主权项】：
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