[发明专利]一种检测设备和单晶炉

说明书

本发明提供一种检测设备和单晶炉。检测设备应用于单晶炉，单晶炉包括炉体、密封炉体的密封件以及设置于炉体上的提拉软轴，提拉软轴的材料包括金属材料，提拉软轴与炉体之间密封且绝缘设置，且提拉软轴的一端延伸至炉体内部，另一端位于炉体的外侧；检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，通信模块与提拉软轴电连接，且提拉软轴用于为通信模块传输信号。本发明实施例通过利用提拉软轴传输信号，通过有线传输的方式，克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽，不需要多次开启和关闭单晶炉，此外，也不需要单独设置传输的信号线，不会对单晶炉的密闭效果造成影响，有利于提高测试效率和测试准确程度。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种检测设备和单晶炉。

背景技术

单晶炉是单晶硅棒生成过程中常用的设备，而单晶炉的各种性能指标对于产品的品质和良品率等参数均有一定的影响，因此，需要对单晶炉的性能进行一定的检测和测试。单晶炉需要在保持密闭状态下，通过设置于炉体内的检测设备进行测试，一般来说，单晶炉的炉体为金属结构，密闭的金属结构会屏蔽检测设备的信号传输，现有测试过程中，需要频繁的打开和关闭单晶炉，测试效率较低。

发明内容

本发明实施例提供一种检测设备和单晶炉，以解决现有测试过程中，需要频繁的打开和关闭单晶炉，测试效率较低的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种检测设备，应用于单晶炉，所述单晶炉包括炉体、密封所述炉体的密封件以及设置于所述炉体上的提拉软轴，所述提拉软轴的材料包括金属材料，所述提拉软轴与所述炉体之间密封且绝缘设置，且所述提拉软轴的一端延伸至所述炉体内部，另一端位于所述炉体的外侧；

所述检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，所述通信模块与所述提拉软轴电连接，且所述提拉软轴用于为所述通信模块传输信号。

可选的，还包括第一接头，所述第一接头设置于所述炉体内，所述第一接头与所述提拉软轴电连接，所述通信模块包括第二接头，所述第二接头与所述第一接头相匹配，以在所述第一接头和所述第二接头相连时，所述通信模块与所述提拉软轴电连接。

可选的，所述第一接头包括用于与所述第二接头相连的连接部以及用于与所述提拉软轴相连的固定部，所述固定部呈环形，且环绕所述提拉软轴设置。

可选的，还包括用于固定所述提拉软轴的固定组件，所述固定组件的材料包括绝缘材料，且所述固定组件分别与所述提拉软轴和所述炉体的内壁相连。

可选的，所述检测设备包括连接件，所述检测设备通过所述连接件吊设于所述提拉软轴位于所述炉体内部的一端。

可选的，所述检测设备包括壳体，所述通信模块和所述电源模块密封于所述壳体内，所述执行模块的部分或全部密封于所述壳体内。

可选的，还包括控制器，所述控制器与所述提拉软轴通过数据线通信连接。

可选的，所述通信模块为无线通讯模块，所述提拉软轴复用为所述无线通讯模块的通讯天线。

可选的，还包括信号放大器，所述信号放大器用于放大所述无线通讯模块通过所述提拉软轴传输的信号，所述信号放大器设置于所述炉体的外侧，且所述信号放大器与所述提拉软轴电连接。

第二方面，本发明实施例还提供了一种单晶炉，包括炉体、密封所述炉体的密封件以及设置于所述炉体上的提拉软轴，所述提拉软轴的材料包括金属材料，所述提拉软轴与所述炉体之间密封且绝缘设置，且所述提拉软轴的一端延伸至所述炉体内部，另一端位于所述炉体的外侧，所述单晶炉还包括第一方面中任一项所述的检测设备。

本发明实施例通过利用提拉软轴传输信号，通过有线传输的方式，克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽，不需要多次开启和关闭单晶炉，此外，也不需要单独设置传输的信号线，不会对单晶炉的密闭效果造成影响，有利于提高测试效率和测试准确程度。

附图说明