[发明专利]一种检测设备和单晶炉

权利要求书

1.一种检测设备，应用于单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括炉体、密封所述炉体的密封件以及设置于所述炉体上的提拉软轴，所述提拉软轴的材料包括金属材料，所述提拉软轴与所述炉体之间密封且绝缘设置，且所述提拉软轴的一端延伸至所述炉体内部，另一端位于所述炉体的外侧；

所述检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，所述通信模块与所述提拉软轴电连接，且所述提拉软轴用于为所述通信模块传输信号。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括第一接头，所述第一接头设置于所述炉体内，所述第一接头与所述提拉软轴电连接，所述通信模块包括第二接头，所述第二接头与所述第一接头相匹配，以在所述第一接头和所述第二接头相连时，所述通信模块与所述提拉软轴电连接。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一接头包括用于与所述第二接头相连的连接部以及用于与所述提拉软轴相连的固定部，所述固定部呈环形，且环绕所述提拉软轴设置。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，还包括用于固定所述提拉软轴的固定组件，所述固定组件的材料包括绝缘材料，且所述固定组件分别与所述提拉软轴和所述炉体的内壁相连。

5.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备包括连接件，所述检测设备通过所述连接件吊设于所述提拉软轴位于所述炉体内部的一端。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备包括壳体，所述通信模块和所述电源模块密封于所述壳体内，所述执行模块的部分或全部密封于所述壳体内。

7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括控制器，所述控制器与所述提拉软轴通过数据线通信连接。

8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述通信模块为无线通讯模块，所述提拉软轴复用为所述无线通讯模块的通讯天线。

9.根据权利要求8所述的检测设备，其特征在于，还包括信号放大器，所述信号放大器用于放大所述无线通讯模块通过所述提拉软轴传输的信号，所述信号放大器设置于所述炉体的外侧，且所述信号放大器与所述提拉软轴电连接。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括炉体、密封所述炉体的密封件以及设置于所述炉体上的提拉软轴，所述提拉软轴的材料包括金属材料，所述提拉软轴与所述炉体之间密封且绝缘设置，且所述提拉软轴的一端延伸至所述炉体内部，另一端位于所述炉体的外侧，所述单晶炉还包括权利要求1至9中任一项所述的检测设备，所述检测设备的通信模块与所述提拉软轴电连接，且所述提拉软轴用于为所述通信模块传输信号。