[发明专利]膜厚测定系统、膜厚测定方法以及存储介质在审
| 申请号： | 202110251055.X | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113405477A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 梅原康敏 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种膜厚测定系统,其取得与形成有膜厚不同的第一膜的N个第一基板的表面的第一位置相关的分光数据,对N个第一基板的每一个取得第一位置的第一膜的膜厚,用摄像部对形成有膜厚不同的第二膜的N个第二基板的表面进行摄像而取得第一图像数据,对N个第二基板的每一个取得第一区域内的多个第一子区域中的第一颜色信息,取得第一区域内的第二膜的膜厚与该第一区域内的多个第一子区域的每一个的第一颜色信息的相关关系,使用摄像部对形成有第三膜的第三基板的表面进行摄像而取得第二图像数据,对多个第二子区域的每一个第二子区域取得第二颜色信息,由多个第二子区域的每一个的第二颜色信息和相关关系推定与第一区域对应的第二区域内的第三膜的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 系统 方法 以及 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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