[发明专利]膜厚测定系统、膜厚测定方法以及存储介质

权利要求书

1.一种膜厚测定系统,具有:

保持部,其构成为用于保持基板；

摄像部,其构成为用于对被上述保持部保持的上述基板的表面进行摄像并取得图像数据；以及

控制部,其构成为用于控制上述摄像部,

上述控制部具有:

分光数据取得部,其构成为对来自形成有膜厚不同的第一膜的N个第一基板的表面的第一位置的光进行分光,从而取得N个分光数据,上述N是2以上的整数；

第一膜厚取得部,其构成为针对上述N个第一基板的每一个第一基板,自上述分光数据取得上述第一位置的上述第一膜的膜厚；

第一图像数据取得部,其构成为使用上述摄像部,对被上述保持部保持且与上述第一膜对应地形成有膜厚不同的第二膜的N个第二基板的表面进行摄像,从而取得N个第一图像数据；

第一颜色信息取得部,其构成为针对上述N个第二基板的每一个第二基板,取得包括与上述第一位置对应的第二位置的第一区域内的多个第一子区域中的上述第一图像数据中包含的第一颜色信息；

相关关系取得部,其构成为作为上述第一区域内的每个上述第二膜的膜厚使用上述第一位置的每个上述第一膜的膜厚,并且使用上述N个第二基板的上述第一颜色信息，从而针对上述多个第一子区域的每一个第一子区域，取得膜厚与颜色信息的相关关系；

第二图像数据取得部,其构成为使用上述摄像部,对被上述保持部保持且形成有第三膜的第三基板的表面进行摄像,从而取得第二图像数据；

第二颜色信息取得部,其构成为针对第二区域内的多个第二子区域的每一个第二子区域,使用上述第二图像数据取得第二颜色信息，上述第二区域与上述第一区域对应，上述多个第二子区域与上述多个第一子区域对应；以及

推定部,其构成为由上述多个第二子区域的每一个第二子区域的上述第二颜色信息以及上述相关关系,对上述第二区域内的上述第三膜的膜厚进行推定。

2.根据权利要求1所述的膜厚测定系统,其中,

具有分光测定部,其构成为对来自被上述保持部保持的上述基板的表面的光进行分光,从而取得分光数据,

上述控制部构成为也用于控制上述分光测定部,

上述分光数据取得部构成为使用上述分光测定部从而取得上述N个分光数据。

3.根据权利要求1或2所述的膜厚测定系统,其中,

上述第一膜厚取得部构成为用于取得多个上述第一位置的上述第一膜的膜厚,

上述第一颜色信息取得部构成为用于对多个上述第二位置的每一个上述第二位置,取得包括该第二位置的上述第一区域内的上述多个第一子区域中的上述第一图像数据中包含的上述第一颜色信息,

上述相关关系取得部构成为用于对多个上述第一区域的每一个上述第一区域,取得上述相关关系,

上述第二颜色信息取得部构成为用于对多个上述第二区域的每一个第二区域,针对上述多个第二子区域的每一个第二子区域取得上述第二颜色信息,

上述推定部构成为用于对多个上述第二区域的每一个上述第二区域,对上述第三膜的膜厚进行推定。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的膜厚测定系统,其中,

上述控制部构成为通过以下步骤来推定上述第三膜的膜厚：

由对应的第一子区域的上述相关关系以及上述对应的第一子区域的颜色信息，来计算上述第二区域内的上述多个第二子区域的每一个第二子区域的推定膜厚，以及

计算上述第二区域内的上述多个第二子区域的每一个第二子区域的推定膜厚的加权平均值，将其作为上述第二区域内的上述第三膜的膜厚。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的膜厚测定系统,其中,

上述摄像部具有多个像素,

上述多个第二子区域与上述多个像素对应。