[发明专利]一种等离子干法去胶用热盘装置

摘要

本发明公开了一种等离子干法去胶用热盘装置，包括：热盘机构、冷却机构、控制机构以及支撑机构；热盘机构包括工艺腔体、封盖板、铝基板、T形固定块以及电加热棒；冷却机构包括冷却液盒、循环泵、冷却腔、进液管以及出液管；控制机构包括盒体、后盖板、控制器、支撑杆、温度传感器、喇叭以及触控显示屏。本发明的等离子干法去胶用热盘装置，其可以形成一个良好洁净的加温环境，加温快速，可有效减少加温等待时间，从而提高工作效率；电加热棒可以进行拆装，便于后期单独更换电加热棒，可以有效降低维护成本；铝基板能够从较高温度快速降至较低温度，以便于满足不同的工艺温度，智能化程度较高，可自动调整到设定的温度，使用比较方便。