[发明专利]一种等离子干法去胶用热盘装置

权利要求书

1.一种等离子干法去胶用热盘装置，其特征在于，包括：

热盘机构（1），所述热盘机构（1）包括工艺腔体（101）、封盖板（102）、铝基板（103）、T形固定块（105）以及电加热棒（104）。

2.根据权利要求2所述的一种等离子干法去胶用热盘装置，其特征在于，所述工艺腔体（101）的上部为开口结构，且所述工艺腔体（101）的一侧壁上开设有通槽（109），所述封盖板（102）固定安装在所述工艺腔体（101）的上部，所述铝基板（103）通过陶瓷隔热垫块（108）水平且固定地安装在所述工艺腔体（101）的内底壁上部，所述铝基板（103）的两侧面上均开设有T形配装槽（111），所述T形固定块（105）通过螺栓（106）固定安装在所述T形配装槽（111）的槽口处，所述电加热棒（104）通过所述T形固定块（105）封装在所述T形配装槽（111）的内部；还包括：冷却机构（2），所述冷却机构（2）包括冷却液盒（201）、循环泵（205）、冷却腔（206）、进液管（203）以及出液管（204），所述冷却液盒（201）通过两个对称设置的连接座（202）固定安装在所述工艺腔体（101）的底部，且所述冷却液盒（201）的内部填充有乙二醇型冷却液，所述循环泵（205）固定安装在所述冷却液盒（201）的内部，所述冷却腔（206）设置在所述铝基板（103）的内部，所述进液管（203）以及所述出液管（204）均固定安装在所述铝基板（103）与所述冷却液盒（201）之间，所述进液管（203）的一端与所述冷却腔（206）的一侧相连通，且所述进液管（203）的另一端与所述循环泵（205）的出水口相连通，所述出液管（204）的一端与所述冷却腔（206）的另一侧相连通，且所述出液管（204）的另一端与所述冷却液盒（201）的内部相连通；控制机构（3），所述控制机构（3）包括盒体（301）、后盖板（304）、控制器（305）、支撑杆（302）、温度传感器（311）、喇叭（308）以及触控显示屏（309），所述盒体（301）的后部为开口结构，所述后盖板（304）通过螺钉（303）固定安装在所述盒体（301）的后部，所述控制器（305）固定安装在所述盒体（301）的内部，且所述控制器（305）的控制输出端通过控制线分别与所述电加热棒（104）的电控端以及所述循环泵（205）的电控端电性连接，所述支撑杆（302）竖直且固定地安装在所述盒体（301）的底部，所述温度传感器（311）嵌装在所述工艺腔体（101）的底壁上，且所述温度传感器（311）的测温部与所述铝基板（103）的底部相接触，所述温度传感器（311）的信号输出端通过信号线与所述控制器（305）的信号输入端电性连接，所述喇叭（308）固定安装在所述盒体（301）的外侧壁上，且所述喇叭（308）的电控端通过控制线与所述控制器（305）的控制输出端电性连接，所述触控显示屏（309）嵌装在所述盒体（301）的前部，且所述触控显示屏（309）通过数据线与所述控制器（305）双向电性连接；支撑机构（4），所述支撑机构（4）包括支撑板（401）以及四个支腿（402），所述支撑板（401）水平设置，且所述支撑板（401）的上表面分别与所述冷却液盒（201）的底部以及所述支撑杆（302）的底端固定连接，四个所述支腿（402）均竖直且固定地安装在所述支撑板（401）的底部，且四个所述支腿（402）对称设置；所述热盘机构（1）还包括电源端子（107），所述电源端子（107）固定嵌装在所述工艺腔体（101）的底壁上，且所述电源端子（107）与所述电加热棒（104）的接线端通过导线（110）电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种等离子干法去胶用热盘装置，其特征在于，所述热盘机构（1）还包括硅胶垫（113），所述硅胶垫（113）固定安装在所述铝基板（103）的上部，且所述硅胶垫（113）上表面与所述通槽（109）的底部齐平设置。

4.根据权利要求2所述的一种等离子干法去胶用热盘装置，其特征在于，所述铝基板（103）的表面经过阳极氧化处理形成一层氧化膜。

5.根据权利要求2所述的一种等离子干法去胶用热盘装置，其特征在于，所述热盘机构（1）还包括过温保护器（112），所述过温保护器（112）与所述电加热棒（104）串联连接。