[发明专利]清洗装置在审
| 申请号： | 202110240953.5 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113020035A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 邬良 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 岳丹丹 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 公开了一种清洗装置，包括：旋转部，用于放置待清洗的晶圆，并带动所述晶圆旋转；第一清洗部，用于对晶圆的表面进行清洗，所述第一清洗部包括：第一喷杆，设置在所述晶圆的至少一侧，向所述晶圆的表面喷射清洗液；第一清洗刷，设置在所述晶圆的与所述第一喷杆相同的一侧，通过与所述晶圆的摩擦接触对所述晶圆的表面进行清洗；第二喷杆，设置在所述第一清洗刷的一侧，向所述第一清洗刷喷射清洗液，对所述第一清洗刷的表面进行清洗。本申请的清洗装置，采用第二喷杆清洁第一清洗刷，降低了第一清洗刷清洗晶圆表面过程中的回粘率，提高了晶圆的清洗效果，提高了晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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