[发明专利]一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机及其使用方法

摘要

本发明公开一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，包括箱体，所述箱体的底部四角均固接有底座，两个所述第一竖杆分别固接于箱体的内壁底部左右两侧，所述第二竖杆的外壁与第一竖杆的内壁间隙配合，两个所述第二竖杆分别固接于横板的底部左右两侧，所述第一竖杆的内壁设有第一弹簧，所述第二弹簧的另一端固接于第一横杆的外壁。该具有限位机构的集成电路用刻蚀机，使得当刻蚀机进行工作产生震动时，会将震动力传递至横板，并通过横板的震动，使得横板带动第二竖杆在第一竖杆的内壁进行升降运动，使得通过第二拉簧给予第一杆体带动板体对刻蚀机进行抵紧固定贴合，使得刻蚀机可稳定的放置在横板的顶部，提高放置稳定性。