[发明专利]一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机及其使用方法

说明书

本发明公开一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，包括箱体，所述箱体的底部四角均固接有底座，两个所述第一竖杆分别固接于箱体的内壁底部左右两侧，所述第二竖杆的外壁与第一竖杆的内壁间隙配合，两个所述第二竖杆分别固接于横板的底部左右两侧，所述第一竖杆的内壁设有第一弹簧，所述第二弹簧的另一端固接于第一横杆的外壁。该具有限位机构的集成电路用刻蚀机，使得当刻蚀机进行工作产生震动时，会将震动力传递至横板，并通过横板的震动，使得横板带动第二竖杆在第一竖杆的内壁进行升降运动，使得通过第二拉簧给予第一杆体带动板体对刻蚀机进行抵紧固定贴合，使得刻蚀机可稳定的放置在横板的顶部，提高放置稳定性。

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域，具体为一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机。

背景技术

等离子刻蚀机，等离子刻蚀刻蚀，是干法刻蚀干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻蚀刻表面，虽然现有的刻蚀机可以实现对集成电路的加工，但存在现有的刻蚀机进行工作时，会产生震动，可能会造成移动或内部零件长时间受到震动，损坏或松动的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，以解决上述背景技术中提出的存在现有的刻蚀机进行工作时，会产生震动，可能会造成移动或内部零件长时间受到震动，损坏或松动的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，包括箱体，所述箱体的底部四角均固接有底座，所述箱体的内壁间隙配合有横板，所述横板的顶部贴合有刻蚀机，所述箱体的内壁设有保护机构；

所述保护机构包括第一竖杆、第二竖杆、第一弹簧、斜块、第一滑轮、第一横杆、第二横杆和第二弹簧；

两个所述第一竖杆分别固接于箱体的内壁底部左右两侧，所述第一竖杆的内壁设有第二竖杆，所述第二竖杆的外壁与第一竖杆的内壁间隙配合，两个所述第二竖杆分别固接于横板的底部左右两侧，所述第一竖杆的内壁设有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固接于第一竖杆的内壁，所述第一弹簧的另一端固接于第二竖杆的外壁，所述第一竖杆的一端设有斜块，所述斜块的一端与第一竖杆的一端固接在一起，所述斜块的顶部贴合有第一滑轮，所述第一滑轮的外壁设有第一横杆，所述第一横杆通过连接轴与第一滑轮转动相连，所述第一横杆的外壁间隙配合有第二横杆，两个所述第二横杆分别固接于横板的底部左右两侧，所述第二横杆的内壁设有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固接于第二横杆的内壁，所述第二弹簧的另一端固接于第一横杆的外壁。

优选的，所述第一竖杆的内壁和第二竖杆的外壁之间的间隙为0.5-1mm。

优选的，所述横板的底部设有增强机构；

所述增强机构包括支杆、第二滑轮和第一拉簧；

两个所述支杆设于横板的底部，两个所述支杆通过连接轴与横板转动相连，两个所述支杆的底部均设有第二滑轮，两个所述第二滑轮分别通过连接轴与支杆转动相连，两个所述第二滑轮的外壁与箱体的内壁底部相贴合，两个所述支杆的外壁固接有第一拉簧。

优选的，两个所述第一竖杆关于横板轴对称分布。

优选的，所述横板的顶部设有固定机构；

所述固定机构包括第一杆体、板体、第二拉簧、第二杆体、第三杆体和手柄；

两个所述第一杆体分别设于横板的顶部左右两侧，两个所述第一杆体均通过连接轴与横板转动相连，所述第一杆体的一端固接有第二拉簧，所述第二拉簧的底部固接于横板的顶部，两个所述第一杆体的顶部均固接有板体，两个所述板体分别与刻蚀机的外壁左右两侧相贴合，两个所述第一杆体的外壁一端均设有第二杆体，所述第二杆体通过连接轴与第一杆体转动相连，所述第二杆体的外壁一端设有第三杆体，所述第三杆体通过连接轴与第二杆体转动相连，所述第三杆体通过连接轴与横板转动相连，两个所述第三杆体的外壁均设有手柄，两个所述手柄的内壁分别与两个第三杆体的外壁套接在一起。