[发明专利]一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机及其使用方法

权利要求书

1.一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，包括箱体（1），所述箱体（1）的底部四角均固接有底座（2），所述箱体（1）的内壁间隙配合有横板（3），所述横板（3）的顶部贴合有刻蚀机（4），其特征在于：所述箱体（1）的内壁设有保护机构（5）。

2.根据权利要求1所述的一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，其特征在于：

所述保护机构（5）包括第一竖杆（501）、第二竖杆（502）、第一弹簧（503）、斜块（504）、第一滑轮（505）、第一横杆（506）、第二横杆（507）和第二弹簧（508）；

两个所述第一竖杆（501）分别固接于箱体（1）的内壁底部左右两侧，所述第一竖杆（501）的内壁设有第二竖杆（502），所述第二竖杆（502）的外壁与第一竖杆（501）的内壁间隙配合，两个所述第二竖杆（502）分别固接于横板（3）的底部左右两侧，所述第一竖杆（501）的内壁设有第一弹簧（503），所述第一弹簧（503）的一端固接于第一竖杆（501）的内壁，所述第一弹簧（503）的另一端固接于第二竖杆（502）的外壁，所述第一竖杆（501）的一端设有斜块（504），所述斜块（504）的一端与第一竖杆（501）的一端固接在一起，所述斜块（504）的顶部贴合有第一滑轮（505），所述第一滑轮（505）的外壁设有第一横杆（506），所述第一横杆（506）通过连接轴与第一滑轮（505）转动相连，所述第一横杆（506）的外壁间隙配合有第二横杆（507），两个所述第二横杆（507）分别固接于横板（3）的底部左右两侧，所述第二横杆（507）的内壁设有第二弹簧（508），所述第二弹簧（508）的一端固接于第二横杆（507）的内壁，所述第二弹簧（508）的另一端固接于第一横杆（506）的外壁；

所述横板（3）的底部设有增强机构（6）；

所述增强机构（6）包括支杆（601）、第二滑轮（602）和第一拉簧（603）；

两个所述支杆（601）设于横板（3）的底部，两个所述支杆（601）通过连接轴与横板（3）转动相连，两个所述支杆（601）的底部均设有第二滑轮（602），两个所述第二滑轮（602）分别通过连接轴与支杆（601）转动相连，两个所述第二滑轮（602）的外壁与箱体（1）的内壁底部相贴合，两个所述支杆（601）的外壁固接有第一拉簧（603）；

所述横板（3）的顶部设有固定机构（7）；

所述固定机构（7）包括第一杆体（701）、板体（702）、第二拉簧（703）、第二杆体（704）、第三杆体（705）和手柄（706）；

两个所述第一杆体（701）分别设于横板（3）的顶部左右两侧，两个所述第一杆体（701）均通过连接轴与横板（3）转动相连，所述第一杆体（701）的一端固接有第二拉簧（703），所述第二拉簧（703）的底部固接于横板（3）的顶部，两个所述第一杆体（701）的顶部均固接有板体（702），两个所述板体（702）分别与刻蚀机（4）的外壁左右两侧相贴合，两个所述第一杆体（701）的外壁一端均设有第二杆体（704），所述第二杆体（704）通过连接轴与第一杆体（701）转动相连，所述第二杆体（704）的外壁一端设有第三杆体（705），所述第三杆体（705）通过连接轴与第二杆体（704）转动相连，所述第三杆体（705）通过连接轴与横板（3）转动相连，两个所述第三杆体（705）的外壁均设有手柄（706），两个所述手柄（706）的内壁分别与两个第三杆体（705）的外壁套接在一起。

3.根据权利要求1所述的一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，其特征在于：所述第一竖杆（501）的内壁和第二竖杆（502）的外壁之间的间隙为0.5-1mm。

4.根据权利要求1所述的一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，其特征在于：两个所述第一竖杆（501）关于横板（3）轴对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，其特征在于：所述板体（702）与刻蚀机（4）贴合处固接有橡胶垫。

6.一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机的使用方法，其特征在于：当使用该具有限位机构的集成电路用刻蚀机时，当刻蚀机4进行工作产生震动时，会将震动力传递至横板3，并通过横板3的震动，使得横板3带动第二竖杆502在第一竖杆501的内壁进行升降运动，同时，横板3带动第二横杆507进行升降运动，使得第二横杆507带动第一横杆506和第一滑轮505与斜块504进行接触，使得第一横杆506在第二横杆507的内壁进行左右移动，两个支杆601受到横板3的震动，使得两个支杆601通过第二滑轮602进行张合，使得第一弹簧503、第二弹簧508和第一拉簧603进行压缩，进而对刻蚀机4进行缓冲，避免刻蚀机4进行工作时，会产生震动，可能会造成移动或内部零件长时间受到震动，损坏或松动，并通过第二拉簧703给予第一杆体701带动板体702对刻蚀机4进行抵紧固定贴合，使得刻蚀机4可稳定的放置在横板3的顶部，提高放置稳定性。